石英深加工:石英坩埚的性能对于单晶硅成晶率的影响

2015-08-07 16:02:58

     石英坩埚的性能直接影响单晶硅的成晶率,当石英坩埚的表面产生失透时石英结晶片就会脱落,并黏着到单晶硅上从而降低单晶硅的成晶率;为了达到内表面高纯度化,我们使用高纯度石英砂原料,并且在严格的管理下进行高清洁环境下洗净; AQM-30是内表面使用了高纯度合成石英砂的石英坩埚,可以长时间使用。 石英深加工
    此外,如果单纯以石英玻璃废料或熔融石英为原料,依照传统工艺不能制成致密的陶瓷烧结体,通过工艺实践研究已证实,使石英陶瓷致密化的方法,可通过以下途径加以解决:采用干坯浸渍工艺,提高坯体 密度和细组分含量;优化调整原料加工工艺,保证合理的颗粒级配,提高生坯体积密度,并通过适当的细磨 增大原料颗粒的比表面积,以增大坯体的烧结动力;选用适宜的添加物,通过液相烧结机理使英陶瓷致密化; 石英陶瓷是按照传统陶瓷生产工艺制作而成的非晶态二氧化硅的烧结体,具有优良的抗热冲击性。 




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