石英深加工:石英坩埚运用注意事项

2014-12-16 14:38:19

 1、石英坩埚的运用,不能和HF接触,高温时,很简单和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。 石英深加工
2、石英坩埚可在1450度以下运用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,展开大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚代替了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。 
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家运用22及以上的坩埚。目前国内坩埚出产厂家出产的18和20英寸坩埚技术都比照老练。其出产运用材料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其需求。其材料里杂质在出产时高温熔制过程中发作黑点气泡等 对拉制单晶硅时其安稳性都有一定影响。




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